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中国电科48所自主研制成功国内首台量子通信应用离子注入机

www.zgjcyjs.com 2018/1/12 11:13:06 来源:48所 电力电子论坛|免费发布产品

  

 

  我国首台用于量子通信领域的离子注入机研制成功,该设备由电科装备48所自主研制,是量子器件关键技术研究的核心设备,将为中科大量子科学研究团队提供核心工艺装备自主保障。目前该设备已发往用户单位,技术团队正紧锣密鼓地展开安装调试工作。

  据悉,该设备以离子注入的方式往高纯金刚石中掺杂氮元素,取代金刚石中的碳原子,从而得到一种良好的、主要应用于量子通信中量子密钥分配的单光子源。与传统离子注入设备相比,该设备的注入工艺要求离子束斑直径特别小(微米级)、注入剂量特别低、样品定位精度特别高,对设备研制提出了极高的要求,目前国际上还没有此类专用设备。48所离子注入机团队不断创新光路设计、注入方式和样品定位技术,实现了超小剂量N型离子注入、小区域点注入等特色工艺,填补国内技术空白。

  该设备的成功研制,为48所离子注入机拓展新动能、提高国际影响力起到有力的推动作用,同时将进一步推动我国在量子领域的科学研究继续领跑世界。我国的量子科学研究走在全球前列,48所的核心装备同样走在全球前列,我们感到非常的自豪。在特种离子注入机新应用方面,48所还曾研制出太阳能离子注入机、SiC高温高能离子注入机,后续将进一步开发在航空材料表面改性、核工业质谱分析、MV级离子注入等领域的多款特种离子注入机型,不断加大自主创新力度,不断增强自主可控能力,做好做强做大特种离子注入装备及其支撑下的相关产业,为实现电科装备早日跨入“电子制造装备创新型领军企业”做出新的更大的贡献。

 

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